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国产 28nm 光刻机 SSA800 批量交付良率超 90%?媒体辟谣:系假消息
5 月 10 日消息:近日,一则上海微电子 28nm 浸没式 DUV 光刻机完成首批批量交付的消息刷屏半导体圈。对此,芯智讯发布文章辟谣,直
2026-05-10
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