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俄罗斯研发150纳米光刻机,性能媲美20年前飞跃4技术
7月21日消息,据报道,俄罗斯绿城纳米技术中心(ZNTC)已成功研制出一台电子束光刻机(ELL)原型机,设计标准为150纳米。该项目属于俄罗斯
2026-07-21
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