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芯上微装350nm步进投影光刻机成功通过工艺验证,展现自立研发实力
8月9日消息,上海芯上微装科技股份有限公司(简称芯上微装,AMIES)近日宣布,其自主研发的350nm步进投影光刻机(AST6200)已顺利通过国内
2026-08-09
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